项目名称：半导体模块化洁净室
洁净室面积：403 ㎡
内部净空高度：3.5m
洁净度：ISO 6/8（千级/十万级）
甲方行业：半导体行业
温湿度：22±3°C & 50-70%RH

一、客户介绍:

Mindox是一家总部位于新加坡的半导体平台解决方案、工艺设备和自动化技术领先的公司，拥有研发、工程和制造能力，结合人工智能和机器学习预测控制模型，以提高产量和运营效率。此次项目位于马来西亚分公司，建设洁净室扩产提质。


二、半导体行业定制模块化洁净室：

客户主要产品为集成式全自动模块化涂胶/处理设备，从初始涂覆到最终清洗，每一步都实现了无缝自动化，以确保绝对的过程控制和卓越的工艺重复性。该设备集成了均匀涂胶应用（厚度范围10μm–200μm）、精密烘烤固化（温度均匀性±5°C）、温和且高效的后工序清洗，并全程维持百级洁净室环境。

背景千级：设备内部是百级，但是对外部洁净室也有要求，必须安装在不低于千级或万级的环境中，降低对设备预过滤系统的负担，避免维护时设备内部收到污染。

压差要求：设备内部相对于外部洁净室通常要保持微正压（例如 +5Pa 到 +10Pa），确保设备漏气时是往外漏，而不是把外部的脏空气吸进去。

温湿度要求：温度：通常要求 22°C ± 1°C（因为光刻胶和固化对温度敏感，±5°C的均匀性建立在环境温度稳定的基础上）。

湿度：通常要求 55% ± 10% RH。湿度过高会影响涂胶质量（胶层可能发白或附着力下降），湿度过低易产生静电，导致吸附颗粒或损坏晶圆内部电路。



三、项目特点：

1.预制模块结构，配回风系统：
采用铝合金框架与岩棉夹芯板，配备齐平安装的回风板系统，最大化洁净室空间。所有组件工厂预制预组装，现场模块化安装，高效便捷，在确保结构稳固的同时，大幅提升施工效率。

2.专用货物通道：
专用货物通道配大尺寸高速卷帘门，实现了快速、稳定、低耗的物料流转，成为支撑高效生产的可靠节点，双门互锁，保障洁净度和洁净室内部压差。

3.合理规划更衣室：
进入洁净室之前规划更衣室，以及在不同洁净度之间规划更衣室，配备风淋室吹淋，建立了高效、合规、可控的人员净化通道，从根本上保障了生产核心区的环境安全与产品质量。

4.观察窗&亚克力门：
走廊一侧按距离布置观察窗，打造了透明、可信赖的生产环境；不仅是一个功能部件，更成为展示严谨工艺、促进内外沟通、并增强质量信心的“窗口”。不同洁净室之间选用大尺寸亚克力透明滑动门，方便开关的同时方便工作人员观察情况。

5.压力梯度，随时查看房间压差：
各操作间，不同级别区域之间配备单独压差表，确保精密工序免受微粒干扰，严格防止不同功能区交叉污染，并满足审计对压差数据的实时追溯要求。

6.智能控制面板：
FFU、RFU、照明灯分区控制，实现了按需供给的精细化能源管理，成为该洁净室智能化、低碳化运营的关键一环，三级用户管理，增加保密性。

7.温湿度控制精准：
按照客户要求，温度需要达到22±3°C，湿度需要50-70%RH， 配备空调系统和工业除湿机，保证在达到客户要求的同时控制成本，节省初投费用，实现了稳定与能效的卓越平衡。

8.提供安装服务：
派遣一支6人安装团队去客户现场安装，27天完成所有模块化洁净室结构以及空调安装与验收；冠航提供从现场勘测到工厂预制、调试验收的一站式标准化安装服务，将紧张的工期压力转化为可靠的交付承诺。