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什么是万级(Class10,000)洁净室?

2024-11-22
洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间,Class10,000(即ISO 7 )洁净室是指房间空气中颗粒物浓度符合ISO14644-1标准定义的房间。

Class10,000洁净室的洁净度标准

ISO14644-1洁净区空气悬浮粒子的标准:


从上表中可以看出,Class10,000(即ISO 7 )洁净室房间每立方米空气中:
粒径≥0.5μm的颗粒物,数量不得超过352000个;
粒径≥1.0μm的颗粒物,数量不得超过83200个;
粒径≥5.0μm的颗粒物,数量不得超过2930个;
Class10,000(即ISO 7 )洁净室对于粒径0.5μm以下的颗粒物,没有做规定限制,因为这种粒径的颗粒物对Class10,000洁净室中的工艺生产活动影响较小。

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